Spezielle Produkte für ZEISS FE-SEMs
Vollintegrierte SEM-AFM-Kombination
Hohe Leistungsfähigkeit:
- SEM gesteuerte Positionierung der AFM-Spitze zu interessanten Bereichen
- alle AFM-Modi verfügbar
- Anchored-Stage-Technologie für sehr hohe Stabilität und geringe Drift
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Leichte Bedienbarkeit:
- eine Bediensoftware für AFM und SEM
- automatisiertes Laser- und Detektoralignment
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Flexibilität:
- Probenscanner-Setup mit 9 µm or 25 µm Scanbereich
- Probengröße bis zu 10 mm
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Vielseitigkeit:
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Weitere Informationen:
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Schutz für luftempfindliche Proben
Hohe Leistungsfähigkeit:
- Sicherer und einfacher Transport von luftempfindlichen Proben zwischen SEM und z.B. einer
Handschuhbox oder Glove Bag
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Leichte Bedienbarkeit:
- Infrarotsteuerung zum Öffnen und Schließen des Sample Transfer Shuttle
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Flexibilität:
- Shuttle kann entweder mit Stickstoff gefüllt oder über ein manuelles Ventil
evakuiert werden.
- Standart-Proben-SEM-Halter (max. Probengröße 10 mm x 10 mm x 2 mm) oder
mitgelieferter SEM-AFM-Probenhalter (max. Probengröße 10 mm x 10 mm x 6 mm)
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Vielseitigkeit:
- Schutz für luftempfindliche Proben wie Batterien, Brennstoffzellen, dünne
Schichten, organische Elektronik, Halbleiter, hydrophile Kristalle uvm, um diese vor Einflüssen
wie Oxidation, Korrosion, Kontamination oder Feuchtigkeit zu schützen.
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Weitere Informationen:
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Positionierung der Probe mit Submikrometergenauigkeit
Hohe Leistungsfähigkeit:
- Präzise Navigation über eine große Entfernung
- Höhere Geschwindigkeit und Auflösung bei kleinerem Datenvolumen
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Leichte Bedienbarkeit:
- Die High precision stage läßt sich genauso bedienen wie die Standard-ZEISS-Stage
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Flexibilität:
- Automatisierte Multidetektoranalyse
- Positionierungs- und Repositionierungsroutine mit wesentlich höherer Zuverlässigkeit
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Vielseitigkeit:
- Correlative Measurement Software
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Weitere Informationen:
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